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多区域滤波片(MZF)

对光学设计师来说,在单个基板上提供空间变化的光谱性能可具有许多优势。益瑞电光谱技术有限公司提供组装的多区域滤波片阵列和带状图案的多区域滤波片(MZ)(有时称为多光谱滤波片),可满足这些不断增长的需求。益瑞电光谱技术有限公司的MZF产品的功能包括:

 

滤波片类型:

  • 长通或短通滤波片(LPF / SPF)
  • 带通滤波片(BPF)
  • 陷波滤波片
  • 黑色吸收镀膜
  • 防反射镀膜(AR)
  • 高反射镜(HR)

 

波长范围:

  • 紫外波段(300nm)到长波红外波段(LWIR 10 um)
  • 定制尺寸,光谱性能和布局(区域的数量和大小)
  • 整体图案阵列
  • “多域拼装”组装阵列
  • 组装和图案化的方法的组合

许多不同的应用都受益于多区域滤波片提供的服务。益瑞电光谱技术有限公司的MZF技术已在以下应用中使用:

 

  • 多光谱成像:遥感(环境分析,空间,防御和安全
  • 多区域滤镜轮:3D电影投影(“右眼”和“左眼”图像)
  • 有序分布的光谱仪或CCD分类

 

益瑞电光谱技术有限公司的MZF功能利用成熟的硬电介质镀膜技术来达到甚至超过对可靠性和光学性能的预期表现,满足空间使用的耐用性和可靠性要求(标准MIL规格)以及客户的要求。

组装

 

我们的多区域滤波片组装方法可满足需要多波段、复杂滤波片镀膜或成本受限的多光谱成像应用的需求。这种方法将镀层沉积在单独的基片上,然后使用坚固的组装方法将其粘合在一起。 这些组件可实现<100μm的区域到区域的过渡带,并已制造多达十个不同的光谱带,从而将单个探测器变成多光谱成像器材。

组装好的MZF包括图案化的黑色镀膜,以确定各个区域所需的透光区域,并减少沿区域之间以及阵列外部边缘的接缝的散射和杂散光。

上图显示了MZF,它是根据ABB加拿大分公司为加拿大航天局的空间技术开发计划而开发的,在3um至13um之间具有十个带通滤波片的MZF。

 

图案化

 

对于需要较小过渡区域、完美的区域到区域共面性或无法通过组装获得的图案的应用,益瑞电光谱技术有限公司的图案化多区域滤波片是理想的选择。

益瑞电光谱技术有限公司的内部光刻实验室位于1000级无尘室中,该室能够对直径150毫米的晶圆进行图案化,也可以执行多步图案化,以创建具有多达五个不同区域的MZF,并且区域之间的过渡距离仅为20μm。

图案化的MZF可以包括黑色镀层过渡区,以隔离单独的光谱带,从而降低检测器发生串扰的可能性。

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