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多域滤波片 (MZF)

多域滤波片对于光学设计者来说,能在单个基片上提供空间变化的频谱性能具有许多优势。益瑞电可同时提供组装的多域滤波片阵列和图案化多域光学滤波片(有时被称作多光谱滤波片 (MSF)),来满足这些日益增长的需求。益瑞电 MZF 产品的特点包括:

  • 滤波片类型:
    • 长通或短通滤波片 (LPF/SPF)
    • 带通滤波片 (BPF)
    • 陷波滤波片
    • 黑色吸收膜
    • 增透膜 (AR)
    • 高反射片 (HR)
  • 波长范围:
    • 从紫外光(300 纳米)到长波红外(长波红外 10 微米)
  • 尺寸、光谱性能和布局的定制(区域的数量和大小)

众多各类应用得益于多域滤波片提供的功能。益瑞电的 MZF 技术应用如下:

  • 多光谱成像:遥感(环境分析、空间、国防和安全
  • 多域滤光轮:三维影院投影(“右眼”和“左眼”图像)
  • 分光仪或感光元件的订单排序

益瑞电运用领先的技术优势,通过我们成熟的硬介质镀膜技术,达到并超越了客户对产品可靠性和光学性能的期望。益瑞电的MZF可满足对于空间应用(标准 MIL 指标)的耐用性和可靠性的要求,同时,也可满足客户的自定义要求。

组件

我们的多域滤波片的组合方式适用于那些需要多频带、复合滤波片镀膜、或具有成本限制的多频谱成像应用的需求。在使用这种方式时,膜沉积在隔开的基片上,然后用一种强劲的组装方法把这些基片拼接在一起。这些组件可实现小于 100 微米的区间过渡,并且含有多达十个不同的光谱带,使得单一的探测器变成了多频谱成像设备。

MZF-1
MZF-2
以上图像显示具有十个带通滤波片(3 微米和 13 微米之间)的 MZF,由 ABB 加拿大针对加拿大航天局空间技术发展方案,依据分包合同开发而出。

图案形成

如果应用需要小过渡区或者无法通过组装实现的图案,那么益瑞电的图案形成多域滤波片就将是完美的选择方案。益瑞电的内部光刻技术实验室坐落于类别 1000 的无尘车间,能够对直径达到 150 mm 的晶圆进行图案形成处理。可以执行多步图案形成,制造 MZF;在多达五个不同区域中进行,区间过渡小到 20 微米。经图案形成处理的 MZF 可包括黑色镀膜过渡区,以隔离分开的光谱波段,从而降低检测器处串扰的可能性。 MZF-3 联系我们以了解详情